信越化學(xué)積極投資光掩膜坯料事業(yè)
為了擴(kuò)大光掩膜坯料事業(yè)，信越化學(xué)將實(shí)施約140億日元的設(shè)備投資。
此次投資將分別在武生工廠（福井縣越前市）和直江津工廠（新瀉縣上越市）的舊工廠實(shí)施。武生工廠將新建廠房并強(qiáng)化高端ArF產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備，計(jì)劃于2021年4月前竣工。另一方面，直江津工廠將強(qiáng)化作為事業(yè)核心的通用ArF產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備，計(jì)劃在2019年年底前竣工。此次投資將使信越化學(xué)光掩膜坯料的生產(chǎn)能力提升30%。
隨著半導(dǎo)體元件產(chǎn)量的增加和產(chǎn)品的不斷小型化，無論是通用ArF產(chǎn)品還是高端ArF產(chǎn)品，光掩膜坯料的全球需求都在不斷增長(zhǎng)。信越化學(xué)將切實(shí)把握這些需求，進(jìn)一步擴(kuò)大事業(yè)規(guī)模。
【信越化學(xué)的光掩膜坯料事業(yè)】
長(zhǎng)久以來，信越化學(xué)一直致力于研究開發(fā)半導(dǎo)體制造工序中使用的材料，光掩膜坯料便是其中的一種，并于2009年將其商業(yè)化，在直江津工廠正式開始了生產(chǎn)。2016年，武生工廠也開始生產(chǎn)該產(chǎn)品，在切實(shí)履行向客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品這一企業(yè)責(zé)任的同時(shí)，通過在兩個(gè)生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行生產(chǎn)力圖達(dá)到分散事業(yè)風(fēng)險(xiǎn)的目的。
在事業(yè)步入正軌后，信越化學(xué)開始推進(jìn)高端產(chǎn)品的開發(fā)工作以滿足客戶需求。最終，我們成功地開發(fā)出了利用高精度微細(xì)加工技術(shù)生產(chǎn)的光掩膜坯料。信越化學(xué)的這一高端光掩膜坯料被認(rèn)定為全球標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
【光掩膜坯料】
是半導(dǎo)體制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上繪制電路時(shí)，會(huì)使用光掩膜版作為電路的原版。
